申请/专利权人：常州翊翔炭材科技有限公司

申请日：2022-06-23

公开（公告）日：2022-11-25

公开（公告）号：CN217895743U

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/448

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.25#授权

摘要：本实用新型涉及加热系统领域，尤其是CVD炉加热系统。该加热系统包括电极转接头、上加热体、中加热体、下加热体、连接件，所述上加热体、中加热体、下加热体依次固定连接在一起，上加热体端头固定连接在电极转接头上，中加热体两端分别设有L形凹面，上加热体端头和下加热体端头均固定连接在中加热体两端的L形凹面上。该实用新型不仅可以延长石墨加热体的使用寿命，而且缩短维护、安装设备周期，使加热体间、加热体与转接头间以面接触连接，使电路畅通。

主权项：1.一种CVD炉加热系统，其特征是，包括电极转接头（1）、上加热体（2）、中加热体（3）、下加热体（4）、连接件（5），所述上加热体（2）、中加热体（3）、下加热体（4）依次固定连接在一起，上加热体（2）端头贴合并连接在电极转接头（1）上，中加热体（3）两端分别设有L形凹面，上加热体（2）端头和下加热体（4）端头均固定连接在中加热体（3）两端的L形凹面上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 常州翊翔炭材科技有限公司 CVD炉加热系统

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