申请/专利权人：吉林麦吉柯半导体有限公司

申请日：2022-07-26

公开（公告）日：2022-11-25

公开（公告）号：CN217891582U

主分类号：B29C37/00

分类号：B29C37/00;B29L7/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.25#授权

摘要：本申请本申请涉及半导体制造设备技术领域，提供一种薄膜设备高压保护装置及薄膜设备，可以避免打开薄膜设备的舱门时，工作人员触电的风险。薄膜设备高压保护装置，包括用以检测高压并报警的电压检测报警电路，所述电压检测报警电路由电源、电流互感器、第一继电器、第二继电器和报警装置电连接形成。薄膜设备，包括机体和设置在机体中的电压检测报警电路。

主权项：1.一种薄膜设备高压保护装置，其特征在于，包括电压检测报警电路，所述电压检测报警电路包括电源、电流互感器2、第一继电器K1、第二继电器K2和报警装置3，其中：所述第一继电器K1的第一线圈K11与所述电流互感器2串联连接形成第一组件，所述第一继电器K1的第一常开触点K12与所述第二继电器K2的第二线圈K21串联连接形成第二组件，所述第二继电器K2的第二常开触点K22与所述报警装置3串联连接形成第三组件；所述第一组件、所述第二组件和所述第三组件并联连接形成检测电路；所述电源与所述检测电路串联连接形成所述电压检测报警电路。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林麦吉柯半导体有限公司 薄膜设备高压保护装置及薄膜设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD