申请/专利权人：株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社

申请日：2022-05-19

公开（公告）日：2022-11-25

公开（公告）号：CN115394683A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;F25B30/02

优先权：["20210524 JP 2021-086745"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.09#实质审查的生效;2022.11.25#公开

摘要：本发明提供一种能够促进辅助区内的设备之间的热利用的协作并且消除设备导入时的配管连接的繁琐性的辅助区设置装置。辅助区设置装置5具备：真空泵6，其用于从处理腔室2排出处理气体；冷却单元7，其用于对在处理腔室2中使用了的第1循环液进行冷却；加热单元8，其用于对在处理腔室2中使用了的第2循环液进行加热；和冷却液管线12，其供从冷却源15供给的冷却液流动。冷却液管线12具有将冷却液分别向真空泵6及冷却单元7供给的分配管线21、和将从真空泵6及冷却单元7通过了的冷却液合流并使其向冷却源15返回的合流返回管线22。

主权项：1.一种辅助区设置装置，是半导体制造装置所使用的辅助区设置装置，其特征在于，具备：真空泵，其用于从所述半导体制造装置的处理腔室排出处理气体；冷却单元，其用于对在所述处理腔室中使用了的第1循环液进行冷却；加热单元，其用于对在所述处理腔室中使用了的第2循环液进行加热；和冷却液管线，其供从冷却源供给的冷却液流动，所述冷却单元包括使制冷剂循环的第1热泵，所述加热单元包括使制冷剂循环的第2热泵，所述冷却液管线具有：将所述冷却液分别向所述真空泵及所述冷却单元供给的分配管线；和将从所述真空泵及所述冷却单元通过了的所述冷却液合流并使其向冷却源返回的合流返回管线。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社 辅助区设置装置

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