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【发明公布】一种磁传感器芯片及其制备方法以及磁编码器_季华实验室_202210916550.2 

申请/专利权人:季华实验室

申请日:2022-08-01

公开(公告)日:2022-11-25

公开(公告)号:CN115394761A

主分类号:H01L25/04

分类号:H01L25/04;H01L43/08;H01L43/10;H01L43/12;G01D5/12

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.12.13#实质审查的生效;2022.11.25#公开

摘要:本发明提供一种磁传感器芯片及其制备方法以及磁编码器,其中,磁传感器芯片包括基板、设置在基板上的磁阻元件组和与磁阻元件组连接的电极。磁阻元件组设置为八组,八组磁阻元件组沿同一圆心均布;每组磁阻元件组包括两个磁阻元件,每个磁阻元件包括四个与磁阻元件组同心并呈扇形均布的磁阻条;每组磁阻元件组中一个磁阻元件的磁阻条与另一个磁阻元件中对应位置的磁阻条的圆心角为15°;一组磁阻元件组中的磁阻条与其相邻的另一组磁阻元件组中对应位置的磁阻条的圆心角为30°。通过磁阻元件组和构成磁阻元件的磁阻条的布置方式,能够有效消除芯片输出信号中的三次谐波,使得输出信号更接近完整的正弦波与余弦波,从而提高旋转角度的检测分辨率。

主权项:1.一种磁传感器芯片,包括基板、设置在所述基板上的磁阻元件组和与所述磁阻元件组连接的电极,其特征在于:所述磁阻元件组设置为八组,八组所述磁阻元件组沿同一圆心均匀布置;每组所述磁阻元件组包括两个磁阻元件,每个所述磁阻元件包括四个与所述磁阻元件组同心并呈扇形均布的磁阻条;每组所述磁阻元件组中一个磁阻元件的磁阻条与另一个磁阻元件中对应位置的磁阻条的圆心角为15°;一组磁阻元件组中的磁阻条与其相邻的另一组磁阻元件组中对应位置的磁阻条的圆心角为30°。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 季华实验室 一种磁传感器芯片及其制备方法以及磁编码器

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