申请/专利权人：纳克微束(北京)有限公司

申请日：2022-09-30

公开（公告）日：2022-11-25

公开（公告）号：CN115394622A

主分类号：H01J37/244

分类号：H01J37/244;H01J37/28

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.13#实质审查的生效;2022.11.25#公开

摘要：本发明提供一种电子探测器及电子探测系统。该电子探测器包括：法拉第笼，用于收集二次电子；固定于屏蔽外筒的电子倍增器，用于基于电子倍增器输入端的第一电压和电子倍增器输出端的第二电压对二次电子进行一级倍增放大；分别与电子倍增器输入端和电子倍增器输出端连接的供电环，用于向电子倍增器输入端提供第一电压，向电子倍增器输出端提供第二电压；固定于屏蔽外筒的半导体探测器，用于对二次电子施加第三电压和偏置电压以将二次电子进行二级倍增放大后转换为电流信号；与半导体探测器连接的放大器电路，用于将电流信号转换为电压信号；信号放大处理电路，用于将电压信号进行放大后转换为图像信号，可以提高电子探测效率，增强图像信噪比。

主权项：1.一种电子探测器，其特征在于，包括：法拉第笼，用于收集二次电子；固定于屏蔽外筒的电子倍增器，用于基于电子倍增器输入端的第一电压和电子倍增器输出端的第二电压对所述二次电子进行一级倍增放大；分别与所述电子倍增器输入端和所述电子倍增器输出端连接的供电环，用于向所述电子倍增器输入端提供第一电压，向所述电子倍增器输出端提供第二电压；固定于屏蔽外筒的半导体探测器，用于对经过一级倍增放大的二次电子施加第三电压和偏置电压以将所述二次电子进行二级倍增放大后转换为电流信号；与所述半导体探测器连接的放大器电路，用于将所述电流信号转换为电压信号；信号放大处理电路，用于将所述电压信号进行放大后转换为图像信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 纳克微束(北京)有限公司 电子探测器及电子探测系统

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