申请/专利权人：苏州汉天下电子有限公司

申请日：2022-08-04

公开（公告）日：2022-11-25

公开（公告）号：CN217904380U

主分类号：H03H9/02

分类号：H03H9/02;H03H9/05;H03H9/54;H03H3/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.25#授权

摘要：本实用新型公开了一种体声波谐振器和体声波滤波器，体声波谐振器包括衬底与谐振体，衬底具有第一表面以及与第一表面相对的第二表面；衬底内设置有声反射结构，声反射结构包括空腔结构或者凹槽，空腔结构位于第一表面侧，凹槽贯穿第一表面和第二表面；衬底包括衬底本体以及与衬底本体相连的多个间隔设置的器件支撑点；谐振体依次包括底电极、第一压电层和顶电极的叠层，底电极靠近衬底设置，谐振体在衬底本体上的垂直投影的边界的至少一部分位于声反射结构内，器件支撑点用于支撑谐振体。本实用新型可以减少体声波谐振器中能量泄漏，提高体声波谐振器的Q值，且当声反射结构为空腔结构时，无需制作牺牲层释放通道，从而可以简化制作流程。

主权项：1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底具有第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面；所述衬底内设置有声反射结构，所述声反射结构包括空腔结构或者凹槽，所述空腔结构位于所述第一表面侧，所述凹槽贯穿所述第一表面和所述第二表面；所述衬底包括衬底本体以及与所述衬底本体相连的多个间隔设置的器件支撑点，所述器件支撑点设置于所述声反射结构内；谐振体，所述谐振体依次包括底电极、第一压电层和顶电极的叠层，所述底电极靠近所述衬底设置，所述谐振体在所述衬底本体上的垂直投影的边界的至少一部分位于所述声反射结构内，所述器件支撑点用于支撑所述谐振体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州汉天下电子有限公司 一种体声波谐振器和体声波滤波器

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