申请/专利权人：上海思立微电子科技有限公司

申请日：2021-05-26

公开（公告）日：2022-11-29

公开（公告）号：CN115412814A

主分类号：H04R17/00

分类号：H04R17/00;H04R31/00;B81B7/02;B81C1/00;H04R7/12;H04R7/14

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.27#实质审查的生效;2022.11.29#公开

摘要：本发明公开了一种MEMS压电扬声器及其加工方法，涉及扬声器领域，所述MEMS压电扬声器包括：用于起到支撑作用的底板；设置在所述底板上的压电单元，所述压电单元形成有沿其轴线方向贯穿的第一空腔；设置在所述压电单元背向所述底板一侧的由金属薄膜制成的振膜，所述振膜覆盖所述第一空腔。本申请能够有效提高器件的可靠性，简化器件的结构，减少封装流程。

主权项：1.一种MEMS压电扬声器，其特征在于，所述MEMS压电扬声器包括：用于起到支撑作用的底板；设置在所述底板上的压电单元，所述压电单元形成有沿其轴线方向贯穿的第一空腔；设置在所述压电单元背向所述底板一侧的由金属薄膜制成的振膜，所述振膜覆盖所述第一空腔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海思立微电子科技有限公司 MEMS压电扬声器及其加工方法

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