申请/专利权人:上海思立微电子科技有限公司
申请日:2021-05-26
公开(公告)日:2022-11-29
公开(公告)号:CN115412814A
主分类号:H04R17/00
分类号:H04R17/00;H04R31/00;B81B7/02;B81C1/00;H04R7/12;H04R7/14
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.02.27#实质审查的生效;2022.11.29#公开
摘要:本发明公开了一种MEMS压电扬声器及其加工方法,涉及扬声器领域,所述MEMS压电扬声器包括:用于起到支撑作用的底板;设置在所述底板上的压电单元,所述压电单元形成有沿其轴线方向贯穿的第一空腔;设置在所述压电单元背向所述底板一侧的由金属薄膜制成的振膜,所述振膜覆盖所述第一空腔。本申请能够有效提高器件的可靠性,简化器件的结构,减少封装流程。
主权项:1.一种MEMS压电扬声器,其特征在于,所述MEMS压电扬声器包括:用于起到支撑作用的底板;设置在所述底板上的压电单元,所述压电单元形成有沿其轴线方向贯穿的第一空腔;设置在所述压电单元背向所述底板一侧的由金属薄膜制成的振膜,所述振膜覆盖所述第一空腔。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海思立微电子科技有限公司 MEMS压电扬声器及其加工方法
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