申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2021-05-26

公开（公告）日：2022-11-29

公开（公告）号：CN115407087A

主分类号：G01Q30/02

分类号：G01Q30/02;G01N23/2204;G01N23/2251

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.16#实质审查的生效;2022.11.29#公开

摘要：本发明公开了一种纳米探针测试的样品固定机构、纳米探针测试装置及样品测试方法，该样品固定机构包括：基座，其具有第一装配面；固定器，其具有与第一装配面配合的第二装配面，固定器还具有与第二装配面相对的固定面，固定面用于与样品粘结固定；锁定结构，其具有锁定状态和解锁状态；在锁定状态，锁定结构能够将固定器与基座相对固定；在解锁状态，固定器能够从基座移除。通过高温加热的方式将胶熔化后使样品与固定器粘贴牢固,再将固定器的第二装配面与基座的第一装配面配合，通过锁定结构将固定器与基座相对固定；再将样品进到纳米探针机台里，进行纳米探针测试，获得样品的测试数据。

主权项：1.一种纳米探针测试的固定机构，其特征在于，包括：基座，其具有第一装配面；固定器，其具有与所述第一装配面配合的第二装配面，所述固定器还具有与所述第二装配面相对的固定面，所述固定面用于与样品粘结固定；锁定结构，其具有锁定状态和解锁状态；在所述锁定状态，所述锁定结构能够将所述固定器与所述基座相对固定；在所述解锁状态，所述固定器能够从所述基座移除。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 纳米探针测试的样品固定机构、测试装置及样品测试方法

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