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【发明公布】存储器及存储器的制作方法_长鑫存储技术有限公司_202110580689.X 

申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司

申请日:2021-05-26

公开(公告)日:2022-11-29

公开(公告)号:CN115411036A

主分类号:H01L27/108

分类号:H01L27/108;H01L21/8242

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.12.16#实质审查的生效;2022.11.29#公开

摘要:本发明提供一种存储器及存储器的制作方法,涉及存储设备技术领域,用于解决存储器良率较低的技术问题。该存储器包括:基底,基底包括核心区和设置在核心区外的外围区;设置在核心区上的第一电容结构,第一电容结构包括多个电容器和覆盖多个电容器的第一导电层;设置在外围区上的外围电路;覆盖第一导电层的第一介质层;覆盖第一介质层的第二导电层,且第二导电层与外围电路电连接。通过在存储器中形成与电容器电连接的稳压电容结构,稳压电容结构为电容器提供持续稳定的电压,无需形成相关技术中的第一接触窗和第二接触窗,即无需开窗,从而避免了第一接触窗或第二接触窗出现未开窗或者过刻蚀现象,提高了存储器的良率。

主权项:1.一种存储器,其特征在于,包括:基底,所述基底包括核心区和设置在所述核心区外的外围区;设置在所述外围区上的外围电路;设置在所述核心区上的第一电容结构,所述第一电容结构包括多个电容器和覆盖所述电容器的第一导电层;覆盖在所述第一导电层外的第一介质层;覆盖在所述第一介质层外的第二导电层,所述第二导电层与所述外围电路电连接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 长鑫存储技术有限公司 存储器及存储器的制作方法

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