申请/专利权人：联华电子股份有限公司

申请日：2021-05-28

公开（公告）日：2022-11-29

公开（公告）号：CN115411108A

主分类号：H01L29/78

分类号：H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.16#实质审查的生效;2022.11.29#公开

摘要：本发明公开一种切割鳍状结构的方法，包含有下述步骤。首先，提供一光掩模，其中光掩模包含一蛇形图案。接着，形成一光致抗蚀剂层覆盖鳍状结构，其中鳍状结构位于一基底上。之后，进行曝光显影以于光致抗蚀剂层形成一光致抗蚀剂图案，其中光致抗蚀剂图案对应蛇形图案。而后，转移光致抗蚀剂图案并蚀刻鳍状结构的切割部分，以切割鳍状结构。

主权项：1.一种切割鳍状结构的方法，包含有：提供光掩模，其中该光掩模包含蛇形图案；形成光致抗蚀剂层，覆盖鳍状结构，其中该些鳍状结构位于基底上；进行曝光显影以于该光致抗蚀剂层形成光致抗蚀剂图案，其中该光致抗蚀剂图案对应该蛇形图案；以及转移该光致抗蚀剂图案并蚀刻该些鳍状结构的切割部分，以切割该些鳍状结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 联华电子股份有限公司 切割鳍状结构的方法

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