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【发明公布】用于处理基板的设备_细美事有限公司_202210586283.7 

申请/专利权人:细美事有限公司

申请日:2022-05-26

公开(公告)日:2022-11-29

公开(公告)号:CN115410953A

主分类号:H01L21/67

分类号:H01L21/67;H01L21/687

优先权:["20210526 KR 10-2021-0067346"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.12.16#实质审查的生效;2022.11.29#公开

摘要:本发明涉及一种用于处理基板的设备。具体地,提供了一种基板处理设备。基板处理设备包括:具有处理空间的处理容器;配置为支承及旋转处理空间中的基板的支承单元;联接至处理容器并配置为排出处理空间内的气流的排气管;独立于支承单元的旋转而提供并定位在处理容器与支承单元之间的支承框架;及突出至支承框架的外部并配置为在向下方向上导引处理空间内的气流的导叶。

主权项:1.一种基板处理设备,所述基板处理设备包含:处理容器,所述处理容器具有处理空间;支承单元,所述支承单元配置为支承及旋转所述处理空间中的基板;排气管,所述排气管联接至所述处理容器、以排出所述处理空间内的气流;支承框架,所述支承框架设置为独立于所述支承单元的旋转、并定位在所述处理容器与所述支承单元之间;及导叶,所述导叶突出至所述支承框架的外部并配置为在向下方向上导引所述处理空间内的所述气流。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 细美事有限公司 用于处理基板的设备

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