申请/专利权人：安徽皖仪科技股份有限公司

申请日：2022-08-23

公开（公告）日：2022-11-29

公开（公告）号：CN115406592A

主分类号：G01M3/20

分类号：G01M3/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.16#实质审查的生效;2022.11.29#公开

摘要：本发明公开了一种氦检漏回收系统及氦检漏回收方法，氦检漏回收系统包括低压罐、高压罐及压缩机，所述压缩机位于低压罐的内部，所述低压罐具有气管接口，压缩机与高压罐之间通过气管连接，气管接口与气管之间密封处理。在回收氦气时，首先打开位于低压罐前级的抽气泵，将氦质谱检漏仪内残留的氦气抽至低压罐内；其次打开压缩机，使压缩机在低压罐的内部将氦气输送至高压罐内。本发明将压缩机放置到低压罐的内部，当压缩机存在漏气问题时，泄露的气体则会进入低压罐内，与低压罐内的气体混合，而且由于泄露的气体浓度本身就是从低压罐内抽取，因而不会造成气体浓度下降的情况。

主权项：1.一种氦检漏回收系统，包括低压罐、高压罐及压缩机，其特征在于，所述压缩机位于低压罐的内部，所述低压罐具有气管接口，压缩机与高压罐之间通过气管连接，气管接口与气管之间密封处理。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽皖仪科技股份有限公司 一种氦检漏回收系统及回收方法

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