申请/专利权人：苏州清越光电科技股份有限公司

申请日：2022-08-22

公开（公告）日：2022-11-29

公开（公告）号：CN217911701U

主分类号：B08B1/00

分类号：B08B1/00;B08B13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.29#授权

摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种清洁机构以及清洁装置。清洁机构包括：清洁组件，包括沿第一方向间隔排布的两个清洁头，两个清洁头沿第二方向的同一侧的侧壁上均开设有凹槽，凹槽沿第一方向贯通对应的清洁头；止挡组件，包括止挡件和转动轴，转动轴沿第二方向延伸，转动轴的一端固定连接于凹槽的开槽面上，凹槽沿宽度方向的至少一侧设置转动轴，转动轴穿设于止挡件，止挡件至少遮挡部分凹槽，止挡件能够绕转动轴转动，以调整止挡件遮挡凹槽的面积；驱动组件，能够驱动至少一个清洁头沿第一方向移动。本实用新型防止清洁带料脱离清洁头，降低邦定区域上的引线损伤的可能性，保证产品合格率，又扩大了适用范围，提高实用性。

主权项：1.清洁机构，其特征在于，包括：清洁组件1，包括沿第一方向间隔排布的两个清洁头11，两个所述清洁头11沿第二方向的同一侧的侧壁上均开设有凹槽12，两个所述凹槽12沿所述第一方向正对设置且分别沿所述第一方向贯通对应的所述清洁头11；止挡组件2，包括止挡件21和转动轴22，所述转动轴22沿所述第二方向延伸，所述转动轴22的一端固定连接于所述凹槽12的开槽面上，所述凹槽12沿宽度方向的至少一侧设置所述转动轴22，所述转动轴22穿设于所述止挡件21，所述止挡件21至少遮挡部分所述凹槽12，所述止挡件21能够绕所述转动轴22转动，以调整所述止挡件21遮挡所述凹槽12的面积，所述第一方向与所述第二方向垂直设置；驱动组件3，能够驱动至少一个所述清洁头11沿所述第一方向移动，以使两个所述清洁头11相互靠近或远离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州清越光电科技股份有限公司 清洁机构及清洁装置

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