申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司;台积电(中国)有限公司

申请日：2022-09-05

公开（公告）日：2022-11-29

公开（公告）号：CN217933703U

主分类号：H01J37/08

分类号：H01J37/08;H01J37/317

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.29#授权

摘要：本申请提供了一种离子源灯丝结构、离子源装置及离子注入设备。离子源灯丝结构包括灯丝、馈电连接杆和夹持部件。灯丝包括本体和安装端子。灯丝包括本体和安装端子。馈电连接杆包括主体部和设置有安装孔的连接部，连接部设置于主体部沿自身长度方向上的一端，主体部沿自身长度方向上的另一端与电源连接。夹持部件设置于安装孔，夹持部件为套筒状结构，夹持部件包括弹性结构段和固定段，固定段设置于弹性结构段沿自身长度方向上的两端，弹性结构段具有径向形变量，弹性结构段与安装端子插接式连接并向安装端子提供夹紧力。根据本申请实施例能够改善离子源灯丝结构中灯丝与馈电连接杆接触处的发热现象。

主权项：1.一种离子源灯丝结构，其特征在于，包括：灯丝，包括本体和安装端子；馈电连接杆，包括主体部和设置有安装孔的连接部，所述连接部设置于所述主体部沿自身长度方向上的一端，所述主体部沿自身长度方向上的另一端与电源连接；夹持部件，设置于所述安装孔，所述夹持部件为套筒状结构，所述夹持部件包括弹性结构段和固定段，所述固定段设置于所述弹性结构段沿自身长度方向上的两端，所述弹性结构段具有径向形变量，所述弹性结构段与所述安装端子插接式连接并向所述安装端子提供夹紧力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司;台积电(中国)有限公司 离子源灯丝结构、离子源装置及离子注入设备

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