申请/专利权人:沈阳爱科斯科技有限公司
申请日:2022-06-15
公开(公告)日:2022-11-29
公开(公告)号:CN217922290U
主分类号:C23C14/50
分类号:C23C14/50;B66F7/06
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.11.29#授权
摘要:本实用新型提供一种转架移动系统,属于镀膜设备技术领域。转架移动系统包括移动装置和转架装置;移动装置包括车体、举升机构和承载台,转架装置设置于承载台上,举升机构的一端与车体相连接,另一端与承载台相连接,承载台沿水平方向设置,举升机构能够在竖直方向上伸缩。通过车体能够便于转运转架装置,并使转架装置送入真空镀膜室内的过程更加方便快捷,稳定省力,且在转架装置送入真空镀膜室的过程中,通过举升机构的伸缩能够不断调整承载台的水平高度,从而在一定程度上提高转架装置与真空镀膜室之间的对接精度。
主权项:1.一种转架移动系统,其特征在于,包括移动装置和转架装置;所述移动装置包括车体、举升机构和承载台,所述转架装置设置于所述承载台上,所述举升机构的一端与所述车体相连接,另一端与所述承载台相连接,所述承载台沿水平方向设置,所述举升机构能够在竖直方向上伸缩。
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权利要求:
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