申请/专利权人：江苏凯威特斯半导体科技有限公司

申请日：2022-06-30

公开（公告）日：2022-11-29

公开（公告）号：CN217930265U

主分类号：G01B21/30

分类号：G01B21/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.29#授权

摘要：本实用新型提供一种台阶平坦度测量用三坐标探针，包括第一杆端、第二杆端以及第三杆端；第一杆端沿第一方向延伸；第二杆端连接于第一杆端一端；第三杆端连接于第二杆端的另一端，所述第三杆端的另一端设置有测量头，所述第三杆端沿第一方向延伸；其中，所述第一杆端、第二杆端和第三杆端的宽度均为D1，所述第一杆端和第三杆端之间的距离为D2，所述D2:D1＝2:1‑3:1。进一步地，所述第一杆端远离第二杆端的一端设置有外扩部，所述外扩部的另一端设置有手柄部，所述手柄部的另一端设置有螺纹部，所述外扩部、手柄部和螺纹部均沿第一方向延伸。本申请针对特殊产品的台阶面测量而设计的三坐标探针，能够提高测量的效率和测量精度。

主权项：1.一种台阶平坦度测量用三坐标探针100，其特征在于：包括第一杆端100d，沿第一方向延伸；第二杆端100f，连接于第一杆端100d一端；以及第三杆端100h，连接于第二杆端100f的另一端，所述第三杆端100h的另一端设置有测量头，所述第三杆端100h沿第一方向延伸；其中，所述第一杆端100d、第二杆端100f和第三杆端100h的宽度均为D1，所述第一杆端100d和第三杆端100h之间的距离为D2，所述D2:D1＝2:1-3:1。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏凯威特斯半导体科技有限公司 台阶平坦度测量用三坐标探针

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