申请/专利权人：偲百创(深圳)科技有限公司

申请日：2021-04-08

公开（公告）日：2022-11-29

公开（公告）号：CN113270539B

主分类号：H01L41/08

分类号：H01L41/08;H01L41/312

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.29#授权;2021.09.03#实质审查的生效;2021.08.17#公开

摘要：本发明涉及一种压电换能器的制备方法，包括：在压电晶圆上形成与压电换能器的预设方向平行或垂直的第一标记；在承载晶圆上形成与承载晶圆的切割方向平行或垂直的第二标记，第二标记和第一标记的形状相同；将第一标记和第二标记对齐后键合压电晶圆和承载晶圆，形成工艺晶圆，工艺晶圆具有压电晶圆的第一表面用于形成压电换能器。本申请通过压电晶圆上的第一标记和承载晶圆上的第二标记使得压电换能器的预设方向与承载晶圆的切割方向平行或者垂直，从而达到提高承载晶圆可用晶圆区域利用率的目的。

主权项：1.一种压电换能器的制备方法，其特征在于，包括：在压电晶圆上形成与压电换能器的预设方向平行或垂直的第一标记；所述预设方向是指后续形成的压电换能器的器件方向；在承载晶圆上形成与承载晶圆的切割方向平行或垂直的第二标记，所述第二标记和所述第一标记的形状相同；将所述第一标记和所述第二标记对齐后，键合所述压电晶圆和所述承载晶圆，形成工艺晶圆，所述工艺晶圆具有压电晶圆的第一表面用于形成所述压电换能器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 偲百创(深圳)科技有限公司 压电换能器的制备方法

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