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【发明授权】一种基于PDMS膜和游标效应增敏的光纤液压传感器_吉林大学_202210069922.2 

申请/专利权人:吉林大学

申请日:2022-01-21

公开(公告)日:2022-11-29

公开(公告)号:CN114414134B

主分类号:G01L11/02

分类号:G01L11/02

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.11.29#授权;2022.05.20#实质审查的生效;2022.04.29#公开

摘要:本发明提供了一种基于聚二甲基硅氧烷膜和游标效应增敏的光纤液压传感器,属于液体压强测量技术领域。本发明结合单模光纤、多模光纤、悬浮芯光纤及石英管的特性设计了高集成度混合干涉仪即迈克尔逊干涉仪以及法布里‑珀罗干涉仪结构的传感头,所述石英管末端设置有PDMS膜,其具有良好的弹性和疏水性,可以实现液压变化的准确测量,且灵敏度高;同时,本发明所述传感头的高集成度设计所形成的两个干涉仪具有高集成度的级联结构,其中,法布里‑珀罗干涉仪作为传感干涉仪,迈克尔逊干涉仪作为参考干涉仪,能够实现游标效应增敏,将光纤液压传感器的灵敏度进一步提高一到两个数量级。

主权项:1.一种基于聚二甲基硅氧烷膜和游标效应增敏的光纤液压传感器,由宽带光源、环形器、传感头和光谱分析仪组成;所述环形器沿周向顺次设置有第一端口、第二端口和第三端口,所述宽带光源与所述第一端口连接,所述传感头与所述第二端口连接,所述光谱分析仪与所述第三端口连接;所述传感头由顺次熔接的单模光纤、多模光纤、悬浮芯光纤和石英管组成,所述石英管未熔接有悬浮芯光纤的一端的末端设置有聚二甲基硅氧烷膜;其中,所述传感头中靠近单模光纤的一端与所述第二端口连接;所述多模光纤与悬浮芯光纤的熔接面为反射面I,所述悬浮芯光纤与石英管的熔接面为反射面II,所述石英管中空气与聚二甲基硅氧烷膜的临界面为反射面III;其中,所述反射面I与反射面II构成迈克尔逊干涉仪,所述反射面I与反射面III构成法布里-珀罗干涉仪;其中,所述传感头的反射光谱包络的平移量为:ΔλEnvelope=M·ΔλFPI;所述ΔλEnvelope为反射光谱包络的平移量,M为包络的放大因子,ΔλFPI为法布里-珀罗干涉仪反射光谱平移量;当环境液压改变时,所述传感头的石英管末端的聚二甲基硅氧烷膜受力发生形变,使所述法布里-珀罗干涉仪腔长发生改变,所述传感头的反射光谱包络随之移动。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 吉林大学 一种基于PDMS膜和游标效应增敏的光纤液压传感器

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