申请/专利权人：中芯南方集成电路制造有限公司

申请日：2021-05-31

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115420392A

主分类号：G01K1/14

分类号：G01K1/14;G01K1/08

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本发明提供一种热电偶安装结构及热电偶安装结构的安装方法，包括：待安装壁；基座，通过活动组件固定在所述待安装壁上；密封组件，位于所述基座与所述待安装壁之间；热电偶，位于所述基座内；固定组件，与所述基座匹配连接，用于将所述热电偶固定于所述基座内，所述固定组件的内径大于所述热电偶的外径；当热电偶受到外力时，由于所述固定组件的内径大于所述热电偶的外径，所述热电偶可以在所述固定件内活动，将受到的外力释放掉，从而可以避免热电偶的断裂，保证温度探测的准确性，有助于提高最终形成的半导体器件的性能。

主权项：1.一种热电偶安装结构，其特征在于，包括：待安装壁；基座，通过活动组件固定在所述待安装壁上；密封组件，位于所述基座与所述待安装壁之间；热电偶，位于所述基座内；固定组件，与所述基座匹配连接，用于将所述热电偶固定于所述基座内，所述固定组件的内径大于所述热电偶的外径。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中芯南方集成电路制造有限公司 热电偶安装结构及热电偶安装结构的安装方法

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