申请/专利权人：佳能安内华股份有限公司

申请日：2020-11-11

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115427606A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34

优先权：["20200401 JP 2020-065522"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.02#授权;2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：根据本发明的成膜设备具有工艺腔室和设置在工艺腔室中并且形成粘合膜的处理单元。工艺腔室的内壁表面由对残留在工艺腔室中的气体或水H2O具有大的吸气效应的物质形成。

主权项：1.一种成膜设备，包括：工艺腔室；以及处理单元，其设置在所述工艺腔室中，用于形成粘合膜，其中，所述工艺腔室的内壁的表面由对残留在所述工艺腔室中的气体或水H2O具有大的吸气效应的物质所形成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能安内华股份有限公司 成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法

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