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【发明公布】带电粒子枪以及带电粒子束系统_株式会社日立高新技术_202080099514.0 

申请/专利权人:株式会社日立高新技术

申请日:2020-04-23

公开(公告)日:2022-12-02

公开(公告)号:CN115428114A

主分类号:H01J3/02

分类号:H01J3/02;H01J1/46

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要:本发明提供能够抑制引出电极中的不均匀的温度分布的电子枪901以及测长SEM900。电子枪901具备:带电粒子源1;引出电极3,其从带电粒子源1引出带电粒子,并且使带电粒子的一部分通过,遮蔽带电粒子的另一部分;以及辅助结构5,其与引出电极3接触。测长SEM900具备上述的电子枪901和控制电子枪901的计算机系统920。

主权项:1.一种带电粒子枪,其特征在于,具备:带电粒子源;引出电极,其从所述带电粒子源引出带电粒子,并且使所述带电粒子的一部分通过,遮蔽所述带电粒子的另一部分;以及传热结构,其与所述引出电极接触。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社日立高新技术 带电粒子枪以及带电粒子束系统

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