申请/专利权人：高通科技公司

申请日：2021-01-07

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115428472A

主分类号：H04R1/04

分类号：H04R1/04;H04R3/00;H04R17/02;H04R19/00;H04R19/04

优先权：["20200107 US 62/958,050"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.23#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：一种鲁棒的MEMS换能器包括设置在其前腔内的动能分流器。在移动穿过前腔的空气的动能到达MEMS换能器的振膜之前，刚性动能分流器将该动能减弱或分流。动能分流器使MEMS换能器对于来自这种移动空气的损坏更鲁棒且更有抵抗力。

主权项：1.一种MEMS换能器，所述MEMS换能器包括：半导体基板，所述半导体基板具有顶层以及与所述顶层相反的底表面；前腔，所述前腔从所述底表面延伸到所述基板中并且在所述底表面处形成孔；换能器元件，所述换能器元件具有能够移动的振膜，所述能够移动的振膜设置在所述基板的所述顶层处并且经由所述前腔暴露于所述孔；以及刚性动能分流器，所述刚性动能分流器被配置成将朝着所述能够移动的振膜移动的空气的动能分流，所述刚性动能分流器设置在所述前腔内并且沿远离所述能够移动的振膜的方向延伸到所述前腔中，所述动能分流器具有暴露于所述孔并且远离所述振膜的端部，使得与到所述振膜的距离相比，所暴露的远端更靠近所述底表面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 高通科技公司 鲁棒的MEMS麦克风

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