申请/专利权人：株式会社村田制作所

申请日：2021-04-14

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115428338A

主分类号：H03H9/25

分类号：H03H9/25

优先权：["20200422 JP 2020-076004"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：压电器件100具备：支承基板110；中间层140，配置在支承基板110上的第1区域RG1；压电层130，配置在中间层140上；功能元件120，形成在压电层130上；以及绝缘层150。绝缘层150在支承基板110上配置在与第1区域RG1相邻的第2区域RG2。第2区域RG2中的支承基板110的表面粗糙度R2大于第1区域RG1中的支承基板110的表面粗糙度R1。

主权项：1.一种压电器件，具备：支承基板；中间层，配置在所述支承基板上的第1区域；压电层，配置在所述中间层上；功能元件，形成在所述压电层上；以及绝缘层，在所述支承基板上，配置在与所述第1区域相邻的第2区域，所述第2区域中的所述支承基板的表面粗糙度大于所述第1区域中的所述支承基板的表面粗糙度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社村田制作所 压电器件

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