申请/专利权人：默克专利有限公司

申请日：2021-04-14

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115427890A

主分类号：G03F7/00

分类号：G03F7/00;G03F7/16;G03F7/09

优先权：["20200417 US 63/011,589"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.05.05#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本发明涉及一种包含碳材料和金属有机化合物的旋涂组合物。本发明还涉及使用其在基材上方形成金属氧化物膜和制造器件的方法。

主权项：1.一种旋涂组合物，其包含碳材料A、金属有机化合物B和溶剂C，其中i碳材料A包含由式A1表示的单元A1： 其中：Ar11是未取代或取代有R11的C6-60烃，R11是C1-20直链、支链或环状的烷基、氨基或烷基氨基，R12是I、Br或CN，p11为0～5的整数，p12为0～1的整数，q11为0～5的整数，q12为0～1的整数，r11为0～5的整数，s11为0～5的整数，并且条件是p11、q11和r11不同时取0；ii溶剂C包含有机溶剂；并且iii碳材料A与金属有机化合物B质量的质量比为约5至约100质量％，优选为约10至约75质量％，更优选为约10至约50质量％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 默克专利有限公司 一种包含碳材料、金属有机化合物和溶剂的旋涂组合物以及一种在基材上方制造金属氧化物膜的方法

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