申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2021-03-16

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115427607A

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455

优先权：["20200416 US 63/010,976"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：温控喷头组件包括带有冷却气体通道和至少一个工艺气体输送通道的杆部，以及热耦合到所述杆部的背板。喷头还包括连接到背板的面板和热耦合到背板的对流传热元件CHTE。CHTE包括密封杯件，其用于将CHTE传热结构与工艺环境隔离开来。CHTE包括内充气部，其包括输入路径和输出路径，输入路径用于经由多个冷却气体通道中的至少一个第一通道接收冷却气体流，输出路径用于通过多个冷却气体通道中的至少第二个从CHTE中除去冷却气体流。接收的冷却气体流与背板的表面进行热耦合。

主权项：1.一种温度控制喷头组件，其包含：杆部，其包含多个冷却气体通道和至少一个工艺气体输送通道，所述至少一个工艺气体输送通道在第一端进入所述杆部以及在与所述第一端相反的第二端离开所述杆部；背板，其在所述第二端在结构上耦合至所述杆部；面板，其热耦合至所述杆部且附接于所述背板，所述面板和所述背板将充气部限定在两者之间；以及对流传热元件CHTE，其热耦合至所述背板，所述CHTE具有内充气部，所述内充气部包含输入路径和输出路径，所述输入路径用于经由所述多个冷却气体通道中的至少第一者而接收冷却气体流，所述输出路径用于经由所述多个冷却气体通道中的至少第二者而从所述CHTE移除所述冷却气体流，所接收的所述冷却气体流与所述背板的表面热耦合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 使用气体冷却的喷头热管理

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