申请/专利权人：株式会社先机

申请日：2021-04-01

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115427796A

主分类号：G01N23/044

分类号：G01N23/044

优先权：["20200422 JP 2020-075927"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本发明提供一种能够一边使射线源与被检查体及检测器的相对位置变化一边拍摄透射图像的检查装置。检查装置1具有放射线产生器22、保持被检查体的基板保持部24、检测器26、基板保持部驱动部18、检测器驱动部20、基板位置检测部29、检测器位置检测部31以及控制部10，控制部10在使放射线产生器22与基板保持部24及检测器26的相对位置变化的状态下执行以下步骤：使检测部26开始获取图像；获取检测部26开始获取图像时的、与基板保持部24及检测器26的位置相关的信息；以及将与位置相关的信息同由检测部26获取到的图像相关联地进行存储。

主权项：1.一种检查装置，具有：射线源；保持部，其保持被检查体；检测器，其对来自所述射线源的透过了所述被检查体的放射线进行检测，来获取所述被检查体的图像；驱动部，其使所述射线源与所述保持部及所述检测器的相对位置变化；位置检测部，其检测与所述保持部及所述检测器的位置相关的信息；以及控制部，其中，所述控制部在通过所述驱动部使所述射线源与所述保持部及所述检测器的相对位置变化的状态下执行以下步骤：使所述检测部开始获取所述图像；从所述位置检测部获取所述检测部开始获取所述图像时的、与所述保持部及所述检测器的位置相关的信息；以及将与所述位置相关的信息同由所述检测部获取到的所述图像相关联地进行存储。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社先机 检查装置

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