申请/专利权人：博鲁可斯自动化美国有限责任公司

申请日：2021-02-22

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115427253A

主分类号：B60L13/00

分类号：B60L13/00;B60L13/04;B60L13/10;H02K41/00;H02K41/02;H02N15/00;B65G54/00;B65G54/02

优先权：["20200220 US 62/979195","20210219 US 17/180298"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.03.07#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：一种线性电机，其包括：框架，所述框架具有水平参考平面；以及电磁铁阵列，所述电磁铁阵列连接到所述框架以相对于所述参考平面在预先确定的高度处形成驱动平面。所述电磁铁阵列被布置成使得所述电磁铁阵列中的一系列电磁铁在所述驱动平面内限定至少一个驱动线，并且所述电磁铁中的每一者耦合到交流电源，从而使每一电磁铁通电。由顺磁性、抗磁性或非磁性导电材料制成的至少一个反作用压板被安置成与所述电磁铁阵列中的所述电磁铁协作，使得所述电磁铁借助交流电的激励产生对所述反作用压板的悬浮力和推进力，所述悬浮力和推进力相对于所述驱动平面以受控姿态沿着至少一个驱动线可控制地悬浮和推进所述反作用压板。

主权项：1.一种线性电机，其包括：框架，所述框架具有水平参考平面；电磁铁阵列，所述电磁铁阵列连接到所述框架以相对于所述水平参考平面在预先确定的高度处形成驱动平面，所述电磁铁阵列被布置成使得所述电磁铁阵列中的一系列电磁铁在所述驱动平面内限定至少一个驱动线，并且所述电磁铁中的每一者耦合到交流电源，从而使每一电磁铁通电；由顺磁性、抗磁性或非磁性导电材料制成的至少一个反作用压板，所述反作用压板被设置成与所述电磁铁阵列中的所述电磁铁协作，使得所述电磁铁借助交流电的激励产生对所述反作用压板的悬浮力和推进力，所述悬浮力和推进力相对于所述驱动平面以受控姿态沿着所述至少一个驱动线可控制地悬浮和推进所述反作用压板；以及控制器，所述控制器可操作地耦合到所述电磁铁阵列和所述交流电源并且被配置成借助多相交流电顺序地激励所述电磁铁，使得每一反作用压板以包括借助一组共用所述电磁铁的姿态控制和偏航控制中的至少一者的多达6个自由度悬浮和推进，所述电磁铁中的每一者由借助每一相具有单个共用频率的共用多相交流电的激励产生对所述反作用压板的所述悬浮力和所述推进力两者，以便以包括至少在所述反作用压板悬浮的情况下反作用压板姿态和反作用压板偏航中的至少一者的多达6个自由度控制所述反作用压板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 博鲁可斯自动化美国有限责任公司 衬底加工装置

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