申请/专利权人：安徽富乐德科技发展股份有限公司

申请日：2022-04-08

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115418623A

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23G1/06;C23F3/00;C23C16/455

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本发明公开了治具保护下真空提拉pump（泵）辅助清洗showerhead（喷淋头孔洞），通过真空提拉pump（泵）反复抽吸药液对showerhead（喷淋头孔洞）每个孔洞的均匀冲洗，真空提拉起到面板每个孔洞沉积物彻底去除，也使面板表面通过真空提拉的推动更加均匀，使面板孔径最小的变异改变，以来面板延长清洗次数，同时也大量的降低客户库存需求和买进新品的成本。

主权项：1.治具保护下真空提拉pump（泵）辅助清洗showerhead（喷淋头孔洞）的方法，其特征是：所述的治具包括子槽和真空提拉pump（泵），清洗步骤如下：步骤1，测子槽平行度，将待清洗的showerhead（喷淋头孔洞）放入子槽，加上盖子，用螺栓锁紧；步骤2，子槽中加入混合酸，连接真空提拉pump（泵），反复抽吸30分钟；步骤3，纯水反复抽吸后将showerhead（喷淋头孔洞）放入超声波清洗槽，水温65℃，超声清洗12分钟；步骤4，测量及数据收集。

全文数据：

权利要求：

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