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【发明公布】基底传输设备_博鲁可斯自动化美国有限责任公司_202210916129.1 

申请/专利权人:博鲁可斯自动化美国有限责任公司

申请日:2016-07-11

公开(公告)日:2022-12-02

公开(公告)号:CN115424964A

主分类号:H01L21/677

分类号:H01L21/677;H01L21/67

优先权:["20150713 US 62/191836"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要:一种基底传输设备,包括连接至框架的驱动器区段和多驱动器轴主轴,多驱动器轴主轴具有至少一个同轴的轴主轴,串联设置的多于一个不同的可互换马达模块,具有可操作联接至其的马达并且限定对应的独立驱动器轴线,以及罐形密封件,罐形密封件设置在每个马达模块的定子与转子之间并且使定子和转子彼此气密地密封,至少一个马达模块可从其它不同的可互换马达模块选择用于联接至同轴的轴主轴,其具有与至同轴的轴主轴的联接无关的不同的预定特性,不同的预定特性限定对应驱动器轴线的与轴主轴位置无关的不同的预定驱动器特性,以便使得对至少一个马达模块的选择确定同轴的轴主轴的不同的预定驱动器特性。

主权项:1.一种基底传输设备,所述基底传输设备包括:框架;以及驱动器区段,所述驱动器区段连接至所述框架,所述驱动器区段包括:多驱动器轴主轴,所述多驱动器轴主轴具有至少一个同轴的轴主轴;至少一个可互换的复合马达模块,其具有串联设置的多于一个的不同的可互换马达模块,所述串联的每一个不同的模块具有可操作地联接至所述同轴的轴主轴的对应轴的马达,并且限定所述驱动器区段的对应的独立驱动器轴线,每个模块的所述马达相应地具有固定至所述框架的马达定子以及连接至所述对应轴的马达转子;以及罐形密封件,所述罐形密封件设置在每个马达模块的所述马达定子和所述马达转子之间,并且使所述相应的马达定子和马达转子彼此气密地密封;其中,所述至少一个可互换的复合马达模块能够从能够联接到所述同轴的轴主轴的其他不同的可互换的复合马达模块中选择以用于联接到所述同轴的轴主轴,每个模块具有与到至所述同轴的轴主轴的联接无关的不同的预定特性,所述复合模块的不同的预定特性限定所述对应的驱动器轴线中的一个或多个的与轴主轴位置无关的不同的预定驱动器特性,使得所述至少一个复合马达模块的选择确定所述同轴的轴主轴的不同的预定驱动器特性。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 博鲁可斯自动化美国有限责任公司 基底传输设备

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