申请/专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司

申请日：2022-08-26

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115425942A

主分类号：H03H9/02

分类号：H03H9/02;H03H9/145

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本发明公开了一种声表面波器件，包括依次叠置的压电薄膜层和衬底层，以及包括设在压电薄膜层的远离衬底层一侧的叉指换能器，压电薄膜层为铌酸锂薄膜；压电薄膜层利用水平剪切型声表面波，压电薄膜层的欧拉角为0°，90±10°，90±10°；或者，压电薄膜层利用高阶瑞利型声表面波，压电薄膜层的欧拉角为50±5°，20±5°，0°。本发明公开的声表面波器件能够激发兼具高声速、高机电耦合系数和导纳阻抗比的声表面波，提高了声表面波器件的工作频率、带宽和品质因数，满足5G通信高频、大带宽的应用需求。

主权项：1.一种声表面波器件，其特征在于，包括依次叠置的压电薄膜层和衬底层，以及包括设在所述压电薄膜层的远离所述衬底层一侧的叉指换能器，所述压电薄膜层为铌酸锂薄膜；所述压电薄膜层利用水平剪切型声表面波，所述压电薄膜层的欧拉角为0°，90±10°，90±10°；或者，所述压电薄膜层利用高阶瑞利型声表面波，所述压电薄膜层的欧拉角为50±5°，20±5°，0°。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州左蓝微电子技术有限公司 声表面波器件

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