申请/专利权人：无锡琨圣智能装备股份有限公司

申请日：2022-09-06

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115418700A

主分类号：C25D17/02

分类号：C25D17/02;C25D17/00;C25D17/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本发明提供了一种实现倾斜电镀的电镀槽体，包括槽体，槽体内沿夹具移动方向并排间隔设置有夹具输送单元，每个夹具输送单元包括底部移动支撑组件和侧面移动支撑组件且输送方向与夹具移动方向一致，侧面移动支撑组件位于底部移动支撑组件的斜上方；槽体上方设置有夹具推动装置，夹具推动装置与设备阴极接通，槽体内设置有阳极板。本发明提供的实现倾斜电镀的电镀槽体，利用槽体内设置的夹具输送单元使装有硅片的夹具在电镀液内通过电镀槽体，实现双面电镀，提高电镀效率，阴极与电镀液接触少，反镀情况明显改善，输送过程中夹具处于倾斜状态，夹具压板和硅片的重力能够帮助稳定硅片的位置，降低硅片对于夹具夹紧力的需求，降低碎片率。

主权项：1.一种实现倾斜电镀的电镀槽体，其特征在于：包括槽体，所述槽体内沿夹具移动方向并排间隔设置有若干夹具输送单元，每个所述夹具输送单元包括平行的底部移动支撑组件和侧面移动支撑组件且输送方向与夹具移动方向一致，所述侧面移动支撑组件位于所述底部移动支撑组件的斜上方；所述槽体上方设置有夹具推动装置，所述夹具推动装置与设备阴极接通，所述槽体内设置有阳极板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡琨圣智能装备股份有限公司 一种实现倾斜电镀的电镀槽体

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