申请/专利权人:保定乐凯新材料股份有限公司;四川乐凯新材料有限公司
申请日:2022-09-19
公开(公告)日:2022-12-02
公开(公告)号:CN115421355A
主分类号:G03F7/027
分类号:G03F7/027;G03F7/00;H05K3/06
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开
摘要:本发明公开了一种适用于双波长曝光的感光性树脂组合物,第一波长范围为350nm‑370nm,第二波长范围为390nm‑410nm。该感光性树脂组合物还具有优异的曝光灵敏度、分辨率、密合性和剥离破碎性。上述感光性树脂组合物包含:A碱溶性高分子树脂;B含烯属不饱和双键的光聚合单体;C光聚合引发剂;D增感剂;E其它任选助剂。上述D增感剂包含两种吡唑啉衍生物。
主权项:1.一种适用于双波长曝光的感光性树脂组合物,第一波长范围为350nm-370nm,第二波长范围为390nm-410nm,所述感光性树脂组合物包含:A碱溶性高分子树脂;B含烯属不饱和双键的光聚合单体;C光聚合引发剂;D增感剂;E其它任选助剂;其中,上述D增感剂包含两种吡唑啉衍生物,分别为通式I所示的D-1吡唑啉衍生物中的一种及通式II所示的D-2吡唑啉衍生物中的一种: 其中,R1-R6各自独立地表示氢、碳原子数为1-12的直链状或支链状的烷基、碳原子数为1-10的直链状或支链状的烷氧基、卤原子或者苯基;R1-R6优选氢、叔丁基、异丙基、甲氧基或者乙氧基。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 保定乐凯新材料股份有限公司;四川乐凯新材料有限公司 一种用于双波长曝光的感光性树脂组合物
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