申请/专利权人:武汉光谷信息光电子创新中心有限公司
申请日:2022-09-21
公开(公告)日:2022-12-02
公开(公告)号:CN115421322A
主分类号:G02F1/035
分类号:G02F1/035;G02F1/03
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开
摘要:本公开实施例公开了一种调制器及其制作方法,所述调制器包括:第一半导体结构,包括:驱动芯片;波导结构,位于覆盖所述驱动芯片的介质层中;导电结构,与所述波导结构并列设置,且贯穿所述介质层;第二半导体结构,与所述第一半导体结构堆叠设置,包括:电光调制结构,覆盖所述介质层相对远离所述驱动芯片的表面,且通过所述导电结构与所述驱动芯片电连接;其中,所述电光调制结构被配置为:当被所述驱动芯片供电时,调制所述波导结构中传输的光信号。
主权项:1.一种调制器,其特征在于,包括:第一半导体结构,包括:驱动芯片;波导结构,位于覆盖所述驱动芯片的介质层中;导电结构,与所述波导结构并列设置,且贯穿所述介质层;第二半导体结构,与所述第一半导体结构堆叠设置,包括:电光调制结构,覆盖所述介质层相对远离所述驱动芯片的表面,且通过所述导电结构与所述驱动芯片电连接;其中,所述电光调制结构被配置为:当被所述驱动芯片供电时,调制所述波导结构中传输的光信号。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 调制器及其制作方法
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