申请/专利权人：上海新微半导体有限公司

申请日：2022-09-22

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115424811A

主分类号：H01F17/00

分类号：H01F17/00;H01F17/04;H01F27/28;H01F27/32;H01F27/34;H01F41/02;H01F41/04;H01F41/12

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本发明提供了一种集成电感及其制备方法。该集成电感中，利用不同结构层内的多条第一金属线和多条第二金属线形成三维立体结构的螺旋线圈，大大缩减了占用面积，并能够有效提高Q值。同时，在螺旋线圈内还设置有磁芯，实现了Q值的进一步提升。以及，第二金属线还可以以悬空的方式设置在磁芯的上方，或者在第二金属线和磁芯之间填充低介电常数的聚酰亚胺层，从而可降低线圈内部的导体之间的介电常数，有效改善因为寄生电容所产生的损耗，进而可更大程度的提高电感器的性能。

主权项：1.一种集成电感，其特征在于，包括：多条第一金属线，形成在一衬底上并沿着第一方向依次排布；磁芯，位于多条第一金属线的上方；以及，多条第二金属线，位于所述磁芯的上方并沿着所述第一方向依次排布，并且所述第二金属线的端部还经过磁芯的侧边与所述第一金属线的端部连接，以使多条第一金属线和多条第二金属线首尾相连形成螺旋线圈，并将所述磁芯环绕在内；其中，所述第二金属线悬空设置在所述磁芯的上方；或者，所述第二金属线和所述磁芯之间填充有聚酰亚胺层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海新微半导体有限公司 集成电感及其制备方法

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