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【发明公布】掩膜板框架和掩膜板组件_云谷(固安)科技有限公司_202211174360.4 

申请/专利权人:云谷(固安)科技有限公司

申请日:2022-09-26

公开(公告)日:2022-12-02

公开(公告)号:CN115418605A

主分类号:C23C14/04

分类号:C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2022.12.02#公开

摘要:本申请公开了一种掩膜板框架和掩膜板组件,掩膜板框架包括本体和承载块组件,本体具有蒸镀开口以及围绕蒸镀开口的实体区,实体区具有承载面;承载块组件包括多个承载块,承载块设置于本体的承载面上、且与本体可拆卸连接。本申请提供的掩膜板框架中,承载块与本体可拆卸连接,因此对掩膜板精度的调节过程无需将掩膜板支撑条与承载块分离,仅需调整承载块与本体的位置关系即可,从而可防止损伤掩膜板以及支撑条,使得掩膜板以及支撑条可重复利用,降低了掩膜板的损耗,从而节省了生产成本,且调节过程方便,并可使得张网精度达到预想的效果。

主权项:1.一种掩膜板框架,其特征在于,包括:本体,所述本体具有蒸镀开口以及围绕所述蒸镀开口的实体区,所述实体区具有承载面;承载块组件,包括多个承载块,所述承载块设置于所述本体的所述承载面上、且与所述本体可拆卸连接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 云谷(固安)科技有限公司 掩膜板框架和掩膜板组件

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