申请/专利权人：云谷(固安)科技有限公司

申请日：2022-09-26

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115418605A

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本申请公开了一种掩膜板框架和掩膜板组件，掩膜板框架包括本体和承载块组件，本体具有蒸镀开口以及围绕蒸镀开口的实体区，实体区具有承载面；承载块组件包括多个承载块，承载块设置于本体的承载面上、且与本体可拆卸连接。本申请提供的掩膜板框架中，承载块与本体可拆卸连接，因此对掩膜板精度的调节过程无需将掩膜板支撑条与承载块分离，仅需调整承载块与本体的位置关系即可，从而可防止损伤掩膜板以及支撑条，使得掩膜板以及支撑条可重复利用，降低了掩膜板的损耗，从而节省了生产成本，且调节过程方便，并可使得张网精度达到预想的效果。

主权项：1.一种掩膜板框架，其特征在于，包括：本体，所述本体具有蒸镀开口以及围绕所述蒸镀开口的实体区，所述实体区具有承载面；承载块组件，包括多个承载块，所述承载块设置于所述本体的所述承载面上、且与所述本体可拆卸连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 云谷(固安)科技有限公司 掩膜板框架和掩膜板组件

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