申请/专利权人：上海泽丰半导体科技有限公司;上海泽丰半导体测试有限公司

申请日：2022-08-19

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115055958B

主分类号：B23P19/10

分类号：B23P19/10;G01R1/073;G01R3/00;G01R31/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.12.02#授权;2022.10.04#实质审查的生效;2022.09.16#公开

摘要：本申请提供了一种用于植针的自动纠偏系统，属于半导体测试及装备技术领域，包括探针图像获取部件、垂直运动轴和核心纠偏机构，核心纠偏机构包括依次连接的正交偏移调节组件、三向偏转调节组件、电子陀螺仪、驱动夹爪和夹爪头，驱动夹爪用于带动夹爪头对探针进行夹取，探针图像获取部件用于获取所述探针的图像，图像用于计算探针在水平面内的偏折角度，电子陀螺仪用于获取探针在垂直面内的偏折角度，三向偏转调节组件用于根据探针在水平面内的偏折角度和垂直面内的偏折角度对探针进行三个旋转方向的偏折角度调节，正交偏移调节组件用于在探针的偏折角度调节后进行水平面内的位移调节。通过本申请提高了植针过程的精度和加工良率。

主权项：1.一种用于植针的自动纠偏系统，其特征在于，包括探针图像获取部件、垂直运动轴及安装在所述垂直运动轴上的核心纠偏机构，所述核心纠偏机构包括依次连接的正交偏移调节组件、三向偏转调节组件、电子陀螺仪、驱动夹爪和夹爪头，所述驱动夹爪用于带动所述夹爪头对所述探针进行夹取，所述探针图像获取部件用于获取所述探针的图像，所述图像用于计算探针在水平面内的偏折角度，所述电子陀螺仪用于获取探针在垂直面内的偏折角度，所述三向偏转调节组件用于根据所述探针在水平面内的偏折角度和垂直面内的偏折角度对所述探针进行三个旋转方向的偏折角度调节，所述正交偏移调节组件用于在所述探针的偏折角度调节后进行水平面内的位移调节。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海泽丰半导体科技有限公司;上海泽丰半导体测试有限公司 一种用于植针的自动纠偏系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD