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【实用新型】晶圆盒转运车_昆山梦显电子科技有限公司_202222311101.3 

申请/专利权人:昆山梦显电子科技有限公司

申请日:2022-08-31

公开(公告)日:2022-12-02

公开(公告)号:CN217945264U

主分类号:B62B3/04

分类号:B62B3/04

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.12.02#授权

摘要:本实用新型公开了一种晶圆盒转运车,属于晶圆制造技术领域。晶圆盒转运车用于对晶圆盒进行转运;晶圆盒转运车包括车体、置物板、安装座和第一限位件,车体的底部设置行走轮;置物板至少设置有两个,至少两个置物板在车体上沿竖直方向间隔设置;安装座设于置物板上,安装座的顶面开设限位槽,晶圆盒坐落于限位槽内;第一限位件设于安装座上,用于在竖直方向限位晶圆盒。本实用新型提供的晶圆盒转运车能够减少人力损耗,提高转运效率,同时有效避免盒体滑落或者摔落,进而避免发生晶圆的破损。

主权项:1.一种晶圆盒转运车,用于对晶圆盒100进行转运,其特征在于,所述晶圆盒转运车包括:车体10,所述车体10的底部设置行走轮11;置物板20,至少设置有两个,至少两个所述置物板20在所述车体10上沿竖直方向间隔设置;安装座30,设于所述置物板20上,所述安装座30的顶面开设限位槽31,所述晶圆盒100坐落于所述限位槽31内;第一限位件40,设于所述安装座30上,用于在竖直方向限位所述晶圆盒100。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 昆山梦显电子科技有限公司 晶圆盒转运车

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