申请/专利权人：罗博特科智能科技股份有限公司

申请日：2022-06-01

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN217954896U

主分类号：G03B15/06

分类号：G03B15/06;G01N21/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.12.02#授权

摘要：本实用新型属于硅片检测领域，具体的说是一种石英舟硅片视觉检测用防反光的背光板，包括底板；所述底板上固接有底座，所述底座的顶部设置有第一背光板，所述第一背光板通过限位机构安装在底座上，所述底座的顶部固接有两个第一定位柱，所述第一定位柱贯穿第一背光板，所述底板的顶部设置有两个第二背光板，所述第二背光板通过限位组件安装在底板上，所述底板的顶部固接有八个第二定位柱，所述第二定位柱贯穿第二背光板，所述第一背光板的顶部和第二背光板的顶部均设置为磨砂面；通过设置第一背光板和第二背光板顶部为磨砂面，可防止发生反光，影响检测，通过设置转动柱，可以使第一压块转动到另一侧，不会妨碍第一背光板的拆卸和安装。

主权项：1.一种石英舟硅片视觉检测用防反光的背光板，其特征在于：包括底板1；所述底板1上固接有底座2，所述底座2的顶部设置有第一背光板3，所述第一背光板3通过限位机构安装在底座2上，所述底座2的顶部固接有两个第一定位柱21，所述第一定位柱21贯穿第一背光板3，所述底板1的顶部设置有两个第二背光板4，所述第二背光板4通过限位组件安装在底板1上，所述底板1的顶部固接有八个第二定位柱22，所述第二定位柱22贯穿第二背光板4，所述第一背光板3的顶部和第二背光板4的顶部均设置为磨砂面；所述限位机构包括固接在底座2顶部的两个固定块5，所述固定块5的顶部通过轴承转动连接有转动柱6，所述转动柱6的顶端固接有L形板7，所述L形板7上螺纹连接有第一螺纹柱8，所述第一螺纹柱8的顶端固接有第一旋块9，所述第一螺纹柱8的底端通过轴承转动连接有第一压块10，所述第一压块10与第一背光板3紧密贴合。

全文数据：

权利要求：

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