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【实用新型】一种MOCVD反应室粉尘清理装置_江苏实为半导体科技有限公司_202221641898.7 

申请/专利权人:江苏实为半导体科技有限公司

申请日:2022-06-28

公开(公告)日:2022-12-02

公开(公告)号:CN217941184U

主分类号:B08B5/04

分类号:B08B5/04;B03C1/02;C30B25/02;B01D46/64;B01D46/76

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.12.02#授权

摘要:本实用新型公开了一种MOCVD反应室粉尘清理装置,包括:清理分离箱、吸尘分离机构和防堵塞机构;清理分离箱内设有支撑分隔板;吸尘分离机构设于清理分离箱上,吸尘分离机构包括气泵,气泵上连接有吸气管,支撑分隔板的下方设有电磁铁;防堵塞机构安装于清理分离箱上,防堵塞机构包括电动机,电动机上连接有旋转传动杆,旋转传动杆上连接有连接绳,连接绳的另一端连接有敲打球,旋转传动杆上安装有敲打凸块。本实用新型通过对MOCVD反应室粉尘清理装置相应机构的设置,使得在将MOCVD反应室内的粉碎吸出后能够进行金属粉尘与非金属粉尘的分离,进而方便对金属粉尘的回收,不易造成资源浪费,为使用者降低生产成本。

主权项:1.一种MOCVD反应室粉尘清理装置,其特征在于,包括:清理分离箱1,所述清理分离箱1内设有支撑分隔板101;吸尘分离机构2,设于所述清理分离箱1上,所述吸尘分离机构2包括气泵201,所述气泵201上连接有吸气管202,所述吸气管202的另一端插设于所述清理分离箱1内,所述支撑分隔板101的下方设有电磁铁203,所述电磁铁203与支撑分隔板101之间连接有缓冲连接组件;防堵塞机构3,安装于所述清理分离箱1上,所述防堵塞机构3包括电动机301,所述电动机301上连接有旋转传动杆302,所述旋转传动杆302上连接有连接绳303,所述连接绳303的另一端连接有敲打球304,所述旋转传动杆302上安装有敲打凸块305。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江苏实为半导体科技有限公司 一种MOCVD反应室粉尘清理装置

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