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【实用新型】一种扩散炉口接液盘_环晟光伏(江苏)有限公司_202221958415.6 

申请/专利权人:环晟光伏(江苏)有限公司

申请日:2022-07-27

公开(公告)日:2022-12-02

公开(公告)号:CN217948341U

主分类号:C30B31/10

分类号:C30B31/10;C30B29/06;H01L31/18

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.12.02#授权

摘要:本实用新型提供一种扩散炉口接液盘,包括盘体,所述盘体垂直于所述扩散炉口水平放置,所述盘体上设有插槽,扩散炉口底部设有定位件,所述定位件插入所述插槽内与所述插槽间隙配合,使所述盘体靠近所述扩散炉口的一侧与所述扩散炉口贴合,固定所述接液盘。本实用新型的有益效果是有效的缩短了扩散炉口接液盘的维护更换时间,避免了偏磷酸对设备及硅片的污染,提高了生产效率,结构简单,操作便捷。

主权项:1.一种扩散炉口接液盘,包括盘体,其特征在于:所述盘体垂直于所述扩散炉口水平放置,所述盘体上设有插槽,扩散炉口底部设有定位件,所述定位件插入所述插槽内与所述插槽间隙配合,使所述盘体靠近所述扩散炉口的一侧与所述扩散炉口贴合,固定所述接液盘。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 环晟光伏(江苏)有限公司 一种扩散炉口接液盘

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