申请/专利权人：SMC 株式会社

申请日：2022-08-22

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN217946223U

主分类号：B65D81/20

分类号：B65D81/20;B65D85/86;H01L21/673

优先权：["20210823 JP 2021-003256U"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.12.02#授权

摘要：非活性气体供给气缸10具备气缸体12、可动喷嘴28以及非活性气体供给轴34。气缸体具有动作端口16，该动作端口与在气缸体与可动喷嘴之间被划分而形成的压力室38连通，非活性气体供给轴插通至可动喷嘴的气体通路30内。

主权项：1.一种非活性气体供给气缸10，具备气缸体12、可动喷嘴28以及非活性气体供给轴34，其特征在于，所述可动喷嘴具有在轴向上贯通的气体通路30，并被所述气缸体支承为能够在轴向上移动，所述可动喷嘴的轴向一端部从所述气缸体的轴向一端部突出，所述气缸体具有动作端口16，该动作端口与在所述气缸体与所述可动喷嘴之间被划分而形成的压力室38连通，所述非活性气体供给轴安装于所述气缸体的轴向另一端部，并插通至所述可动喷嘴的所述气体通路内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： SMC 株式会社 非活性气体供给气缸

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