申请/专利权人:应用材料公司
申请日:2019-05-13
公开(公告)日:2022-12-16
公开(公告)号:CN218069804U
主分类号:H01L21/677
分类号:H01L21/677
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.12.16#授权
摘要:本公开内容的实施方式涉及用于运输载体的磁悬浮系统、用于运输载体的磁悬浮系统的基部结构以及真空沉积系统。所述磁悬浮系统100包括:基部结构20;载体10,所述载体在载体运输空间55中沿所述基部结构20是可移动的;和悬浮磁体布置30,所述悬浮磁体布置用于产生在竖直方向V上作用在所述载体上的载体悬浮力FV。另外,设置有至少一个机械接触元件40,所述至少一个机械接触元件被配置为在侧向方向L上在所述载体上施加侧向接触力FC,以抵消由所述悬浮磁体布置30施加在所述载体上的第一侧向力分量FL1。
主权项:1.一种用于运输载体的磁悬浮系统100,其特征在于,包括:基部结构20;载体10,所述载体在载体运输空间55中沿所述基部结构20是移动的;悬浮磁体布置30,所述悬浮磁体布置用于产生载体悬浮力FV;和至少一个机械接触元件40,所述至少一个机械接触元件被配置为在所述载体上施加侧向接触力FC,以抵消由所述悬浮磁体布置30施加在所述载体上的第一侧向力分量FL1。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 应用材料公司 用于运输载体的磁悬浮系统、其基部结构以及真空沉积系统
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