申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司

申请日：2022-09-15

公开（公告）日：2022-12-20

公开（公告）号：CN115495345A

主分类号：G06F11/36

分类号：G06F11/36;G06F9/54

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.01.03#实质审查的生效;2022.12.20#公开

摘要：本申请提供一种WAT机台异常处理方法及系统，其中，所述方法包括：步骤S1，开发一自动诊断程序，替换现有的人工诊断程序；步骤S2，在每个基本批量的晶圆组的WAT完成后，自动执行该自动诊断程序；步骤S3，该自动诊断程序诊断WAT机台是否存在异常状态，形成诊断结果；步骤S4，在WAT机台操作界面显示诊断结果，并将诊断结果发送至制造执行系统进行判断并处理。根据本申请，在每个基本批量的晶圆组的WAT结束之后，WAT机台自行启动自动诊断程序，从而在下个基本批量的晶圆组的WAT开始之前及时发现WAT机台存在的异常情况并进行相应的处置。

主权项：1.一种WAT机台异常处理方法，其特征在于，所述方法包括：步骤S1，开发一自动诊断程序，替换现有的人工诊断程序；步骤S2，在每个基本批量的晶圆组的WAT完成后，自动执行所述自动诊断程序；步骤S3，所述自动诊断程序诊断所述WAT机台是否存在异常状态，形成诊断结果；步骤S4，在所述WAT机台操作界面显示所述诊断结果，并将所述诊断结果发送至制造执行系统进行判断并处理。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 WAT机台异常处理方法及系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD