申请/专利权人：埃地沃兹日本有限公司

申请日：2019-06-13

公开（公告）日：2022-12-20

公开（公告）号：CN112219035B

主分类号：F04D19/04

分类号：F04D19/04

优先权：["20180627 JP 2018-121763"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.12.20#授权;2021.05.21#实质审查的生效;2021.01.12#公开

摘要：提供高精度且以低成本测定旋转部的温度的真空泵、真空泵的定子柱、基部及真空泵的排气系统。本实施方式的真空泵在冲洗气体的流路，在温度传感器单元的下游侧设置使冲洗气体的一部分向温度传感器单元侧逆流的螺纹槽式密封件，提高温度传感器单元附近的冲洗气体的压力。通过这样地设置，借助少量的冲洗气体，能够使温度传感器单元周围的气体压力为中间流或粘性流，能够抑制供给的冲洗气体的总量，结果，能够有助于成本下降。

主权项：1.一种真空泵，从连接的冲洗气体供给装置接受冲洗气体的供给，在被供给的冲洗气体的流路，配设有测定旋转部的温度的温度传感器单元，其特征在于，具备容纳使前述旋转部旋转的电装部的定子柱、固定前述定子柱的基部、在配设有前述温度传感器单元的冲洗气体流路的下游侧使前述冲洗气体的至少一部分向温度传感器单元侧逆流的螺纹槽式密封件，前述定子柱或者前述基部具备缩径部，所述缩径部设置在前述冲洗气体流路的比前述温度传感器单元靠下游侧的至少一部分，将前述冲洗气体的流路控制成一个方向，前述缩径部比前述冲洗气体流路中设置有温度传感器单元的部分窄。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 埃地沃兹日本有限公司 真空泵、定子柱、基部及真空泵的排气系统

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