申请/专利权人：常州威登电子设备有限公司

申请日：2022-08-30

公开（公告）日：2023-01-03

公开（公告）号：CN115565836A

主分类号：H01J37/20

分类号：H01J37/20;H01J37/305;H01J37/32

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.01.20#实质审查的生效;2023.01.03#公开

摘要：本发明公开了高精度蚀刻机，属于蚀刻机技术领域，其包括外框体，所述外框体的一侧设置有控制柜，所述外框体的外表面远离控制柜的一侧对称设置有蚀刻室，两个蚀刻室之间设置有便捷翻面装置，所述外框体的两侧均设置有传送台。该高精度蚀刻机，通过设置便捷翻面装置，相较于传统的单个蚀刻室，设置两个蚀刻室可以在翻面过程中，将待蚀刻物体翻至另一个蚀刻室进行蚀刻，此时通过设置在两个蚀刻室之间的第一螺纹杆和第二螺纹杆作用，可以带动第一矩形框进行水平和竖直方向的运动，进而可以在转动杆的作用下，带动第一U形框转动，进而可以在第三螺纹杆的作用下，可以带动两个连接板相向运动，进而使得两个橡胶板相向运动。

主权项：1.一种高精度蚀刻机，其特征在于：包括外框体（1），所述外框体（1）的一侧设置有控制柜（2），所述外框体（1）的外表面远离控制柜（2）的一侧对称设置有蚀刻室（3），两个蚀刻室（3）之间设置有便捷翻面装置（4），所述外框体（1）的两侧均设置有传送台（5），所述传送台（5）的外表面一侧固定安装有第一电机（6），所述第一电机（6）的输出端固定连接有传动辊（7），所述传动辊（7）的外表面设置有传动带（10），所述传送台（5）的一侧设置有限位装置（8），所述传动辊（7）的外表面设置有轮片结构（9），所述外框体（1）的顶部设置有气泵（11）和气箱（12），所述气泵（11）的进气口和出气口分别连通有进气管（13）和出气管（14），所述进气管（13）远离气泵（11）的一端与气箱（12）相连通，所述出气管（14）远离气泵（11）的一端与蚀刻室（3）的内部相连通，所述蚀刻室（3）的内壁顶部设置有电磁板（15）；所述便捷翻面装置（4）包括第二电机（41）、橡胶板（421）和橡胶圆凸块（422），所述第二电机（41）与外框体（1）的外表面一侧固定连接，两个所述蚀刻室（3）相接处固定连接有矩形环框（42），所述第二电机（41）的输出端固定连接有第一螺纹杆（43），所述第一螺纹杆（43）的外表面螺纹连接有第一螺孔块（45），所述第一螺孔块（45）的外表面固定连接有第一燕尾滑块（46），所述矩形环框（42）的内壁顶部开设有第一矩形槽（44），所述第一矩形槽（44）的内壁与第一燕尾滑块（46）的外表面滑动连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 常州威登电子设备有限公司 高精度蚀刻机

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