申请/专利权人:深圳市志凌伟业光电有限公司
申请日:2022-09-13
公开(公告)日:2023-01-03
公开(公告)号:CN115561971A
主分类号:G03F7/20
分类号:G03F7/20
优先权:
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的撤回
法律状态:2023.06.16#发明专利申请公布后的撤回;2023.01.20#实质审查的生效;2023.01.03#公开
摘要:本发明涉及薄膜设备技术领域,具体为一种光蚀刻用的光蚀刻打标装置,包括打标机座,所述打标机座上设置有竖导轨,且竖导轨上驱动安装有滑座,所述滑座上固定连接有横导轨,且横导轨上驱动连接有升降座,所述升降座上驱动连接有打标头,且打标机座上设置有滑槽,通过滑槽进行了夹座的滑动安装,且打标机座上设置有横向驱动结构,所述夹座上滑动安装有导向杆,且导向杆上固定连接有夹板以及第一磁块,所述夹座上固定安装有第二磁块,所述夹座中设置有竖向驱动结构。本发明的打标装置上设置有稳定的光蚀刻薄膜产品固定结构,能够从水平以及竖直两个方向上对薄膜产品进行限位,有效防止其出现滑移和褶皱的情况,确保打标的准确性。
主权项:1.一种光蚀刻用的光蚀刻打标装置,包括打标机座1,其特征在于:所述打标机座1上设置有竖导轨2,且竖导轨2上驱动安装有滑座3,所述滑座3上固定连接有横导轨4,且横导轨4上驱动连接有升降座5,所述升降座5上驱动连接有打标头6,且打标机座1上设置有滑槽7,通过滑槽7进行了夹座8的滑动安装,且打标机座1上设置有横向驱动结构,进行夹座8的横向推动,所述夹座8上滑动安装有导向杆14,且导向杆14上固定连接有夹板15以及第一磁块16,所述夹座8上固定安装有第二磁块17,所述夹座8中设置有竖向驱动结构,进行夹板15的竖向推动。
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权利要求:
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