申请/专利权人：信强(宁波)半导体设备制造有限公司

申请日：2021-06-21

公开（公告）日：2023-01-06

公开（公告）号：CN115569465A

主分类号：B01D47/02

分类号：B01D47/02

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2023.01.06#公开

摘要：本发明公开一种制程尾气处理装置包括一气体入口、一气体出口、一洗涤室、一风机、一主要通道、一分流通道、一压力传感器组和一控制阀门组。主要信道包括一第一信道、一第二信道和一第三信道。第一通道连通气体入口和洗涤室。第二通道连通洗涤室和风机。第三通道连通风机和气体出口。分流通道连通气体入口和气体出口。压力传感器组设置于气体入口、气体出口、主要通道和分流通道，以感测一气压。控制阀门组设置于主要通道和分流通道，以调节气压。

主权项：1.一种制程尾气处理装置，其特征在于，该制程尾气处理装置包括：一气体入口；一气体出口；一洗涤室；一风机；一主要通道，包括：一第一通道，连通该气体入口和该洗涤室；一第二通道，连通该洗涤室和该风机；以及一第三通道，连通该风机和该气体出口；一分流通道，连通该气体入口和该气体出口；一压力传感器组，设置于该气体入口、该气体出口、该主要通道和该分流通道，以感测一气压；以及一控制阀门组，设置于该主要通道和该分流通道，以调节该气压。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 信强(宁波)半导体设备制造有限公司 制程尾气处理装置

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