买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【发明公布】应用晶圆级封装的再布线层材料的复介电常数提取方法_西安微电子技术研究所_202211202869.5 

申请/专利权人:西安微电子技术研究所

申请日:2022-09-29

公开(公告)日:2023-01-06

公开(公告)号:CN115575721A

主分类号:G01R27/26

分类号:G01R27/26

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.01.24#实质审查的生效;2023.01.06#公开

摘要:本发明公开了一种应用晶圆级封装的再布线层材料的复介电常数提取方法,包括获取传输线的传输系数;建立基于微带线尺寸的介电常数与等效介电常数的模型,获取等效介电常数的理论值;根据搜索算法,在粗粒度下,由等效介电常数的理论值计算材料的介电常数范围;设置搜索步进,对材料的介电常数范围内的介电常数值进行搜索计算,得到频变的等效介电常数;根据传输线的传输系数,计算材料的损耗角正切值;计算得到复介电常数。利用晶圆级封装中传统微带线的结构,对再布线层材料的复介电常数进行提取,采用搜索算法,计算材料的介电常数范围,得到每个频率点的等效介电常数,扩大了测量的频率,降低了测量成本,提高了测试速度。

主权项:1.应用晶圆级封装的再布线层材料的复介电常数提取方法,其特征在于,包括以下步骤:获取传输线的传输系数;建立基于微带线尺寸的介电常数与等效介电常数的模型,获取等效介电常数的理论值;根据搜索算法,在粗粒度下,由等效介电常数的理论值计算材料的介电常数范围;设置搜索步进,对材料的介电常数范围内的介电常数值进行搜索计算,得到频变的等效介电常数;根据传输线的传输系数,计算材料的损耗角正切值;由频变的等效介电常数和材料的损耗角正切值计算得到复介电常数。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安微电子技术研究所 应用晶圆级封装的再布线层材料的复介电常数提取方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。