申请/专利权人:先导薄膜材料有限公司
申请日:2022-10-27
公开(公告)日:2023-01-06
公开(公告)号:CN115572844A
主分类号:C22B34/24
分类号:C22B34/24;C22B1/00;C22B7/00;C22B9/22
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.01.19#授权;2023.01.24#实质审查的生效;2023.01.06#公开
摘要:本发明属于材料回收利用技术领域,公开了从钽残靶中回收钽的方法,包括以下步骤:步骤S1,将钽残靶中钽靶坯与背板分离;步骤S2,车削处理钽靶坯;步骤S3,酸洗钽靶坯,然后水洗、烘干;步骤S4,对钽靶坯进行电子束熔炼;熔炼方式为两次熔炼,第一次和第二次熔炼为不同位向的水平熔炼或垂直熔炼;熔炼结束后,冷却,得到高纯钽锭。本发明可以制备得到纯度≥99.995%的高纯钽锭,且钽锭中杂质元素W、Mo、Nb的总量<20ppm,C、H、O、N的含量特别低,C≤10ppm,O≤15ppm,N≤10ppm,H≤2ppm;钽锭内部裂纹、缩松、缩孔等缺陷少,密度≥16.5gcm3。
主权项:1.一种从钽残靶中回收钽的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1,将钽残靶中钽靶坯与背板分离;步骤S2,车削处理钽靶坯;步骤S3,酸洗钽靶坯,然后水洗、烘干;步骤S4,对钽靶坯进行电子束熔炼;熔炼方式为两次熔炼,第一次和第二次熔炼为不同位向的水平熔炼或垂直熔炼;熔炼结束后,冷却,得到高纯钽锭。
全文数据:
权利要求:
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