申请/专利权人：昂坤视觉(北京)科技有限公司

申请日：2022-10-31

公开（公告）日：2023-01-06

公开（公告）号：CN115575406A

主分类号：G01N21/88

分类号：G01N21/88;G01N35/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.01.24#实质审查的生效;2023.01.06#公开

摘要：本发明提供一种表面缺陷检测装置及其检测方法，装置用于检测晶圆的表面缺陷，该装置包括台架；活动载台，活动载台用于承载待检测晶圆；多个安装于台架上的镜头，各镜头的摄像端均朝向活动载台用于承载待检测晶圆的一侧；中控单元，中控单元电连接于活动载台和各镜头，中控单元用于根据各镜头的数量和分布情况将待检测晶圆划分出多个分别与各镜头对应的检测区，中控单元用于控制活动载台带动待检测晶圆移动以使各镜头分别同时对各检测区进行拍摄，以及中控单元用于获取各镜头拍摄的图像数据，使得镜头能够对待检测晶圆进行同步扫描，进而提升扫描速度、增加生产效率，解决了自动光学检测设备因单一镜头的限制而影响生产效率的问题。

主权项：1.一种表面缺陷检测装置，用于检测晶圆的表面缺陷，其特征在于，所述表面缺陷检测装置包括：台架；活动载台，所述活动载台用于承载待检测晶圆;多个安装于所述台架上的镜头，各所述镜头的摄像端均朝向所述活动载台用于承载所述待检测晶圆的一侧；中控单元，所述中控单元电连接于所述活动载台和各所述镜头，所述中控单元用于根据各所述镜头的数量和分布情况将所述待检测晶圆划分出多个分别与各所述镜头对应的检测区，所述中控单元用于控制所述活动载台带动所述待检测晶圆移动以使各所述镜头分别同时对各所述检测区进行拍摄，以及所述中控单元用于获取各所述镜头拍摄的图像数据。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昂坤视觉(北京)科技有限公司 表面缺陷检测装置及其检测方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD